ディスプレイ製造工程 TFT LCD OLED 寸法測定 特性評価　

LCD（液晶ディスプレイ）には、コントラストや表示速度を向上させる製造方法があります。それがTFT（薄膜トランジスタ）技術と呼ばれるものです。TFTはフォトリソグラフィによって製造され、各層の高さが重要になります。
 
SensoPRO Multiple Step Height （多段差）プラグインは3つの異なる高さを検出し、その属する高さレベルにあるトポグラフィの領域をグループ化します。この場合、検出された各レベルは、TFTアレイを作るために蒸着された層です。

有機ELディスプレイでのRGBピクセルを形成する層を蒸着するために、ファインメタルマスク（FMM）パターンが使用されます。パターン幅と長さで、蒸着されるピクセルサイズが決定づけられるため、特性の評価がなされます。

 
SensoPRO R hole（穴）プラグインによる解析で取得したデータで自動生成されたグラフから、データセットの傾向をに見出すことができます。

ディスプレイは複数の層で構成されいます、層の間には一定の間隔が必要です。スペーサは、その間隔を確保するため、画面全体に配置された構造物です。スペーサには様々な形状がありますが、殆どは楕円形、円形、長方形の形状です。
 
SensoPRO Spacer（スペーサ）プラグインスペーサの解析用のプラグインです。液晶パネルを支えるスペーサの測定に役立ちます。層の間での正確な間隔を確保し、均一でへこみのない画面の状態にします。

ディスプレイの内部には、デバイスから出る危険性のある光を除去するフィルター層があります。図のような形状のものもあります。
 
SenoPRO Trace（溝）プラグインは表面上のトレンチ（溝）を解析するために使用します。

ディスプレイを製造する際、フォトリソグラフィでいくつかのコーティングが施されます。多くの場合、構造体を覆っているコーティングの均一性を把握する必要があります。
 
図は、構造体上部のコーティングの平坦性を確認しているところです。
 
SensoVIEWのソフトウェアは任意の方向でプロファイルを選択し、手動で検証を行うことに優れたツールです。