ナノ構造の幾何学的パラメータの変位や光学特性の変化を、製造中に非接触かつ非破壊で判定します。フォトニクス、半導体、量子技術のためのグレーティングや薄膜の品質検査に好適です。

高真空・超高真空対応プローブ。低アウトガス・高安定性・非磁性対応可能。

優れた直線性と温度特性。静的な変位測定のスタンダードモデル。

高分解能・高速応答。動的変位測定のスタンダードモデル。

シリーズ最高分解能・高速応答モデル 高速変位を高精度で測定

優れた温度特性と高分解能を実現。制御用途でのフィードバックセンサに最適。

MicroSense LLCの静電容量センサを紹介。全カタログをまとめてダウンロードできます。

ピコオーダ、超高速(10MHz)、長作動距離(最大5m)、多様な材質や極端環境（超高真空、高磁場）に対応する変位測定干渉計【レーザー干渉式変位センサ】