装置組込み用白色干渉計・共焦点顕微鏡 S neox sensor

SENSOFAR Metrology

S neoxは多機能かつ高性能な機能をもつ組込み可能な3D測定センサです。共焦点・白色干渉計・焦点移動による3D表面形状測定加えて、膜厚測定ができ、幅広いアプリケーションに対応。自動3D測定が可能。

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S neox sensor の柔軟性と多機能性

S neoxは多機能性に優れています。「4-in-1」技術による幅広いアプリケーションへの比類のない適応力、また、あらゆる表面において最大限の測定の柔軟性を提供します。

S neox sensor スピードと機能の向上

一部のアルゴリズムを再度デザインすることにより、全てのテクノロジーのスピードと性能が向上を実現しました。

S noex sensorの膜厚測定性能

S neoxは50nm～5mmまでの膜厚の測定が可能です。またZ軸方向ピエゾモーターをオプションで追加することにより最高の性能を発揮します。

S neox sensor 自動3D測定

S neox sensorは測定に最適な取得条件を見つける機能を備えています。表面に焦点を合わせるだけで、その後は自動でS neox sensorで測定を行います。

寸法

測定技術


共焦点	白色干渉計 PSI, ePSI, CSI	Ai焦点移動

S neox sensoer 光源


630 nm	530 nm	460 nm	575 nm

対物レンズ性能　明視野

倍率	5X	10X	20X	50X	100X	150X
開口径 NA	0.15	0.30	0.45	0.80	0.90	0.95
作動距離 WD (mm)	23.5	17.5	4.5	1.0	1.0	0.2
FOV 視野1 (μm)	3378 x 2826	1689 x 1413	845 x 707	338 x 283	169 x 141	113 x 94
空間サンプリング2(µm)	1.38	0.69	0.34	0.13	0.07	0.05
光学分解能3(µm)	0.94	0.47	0.31	0.18	0.16	0.148
システムノイズ4(nm)	100	30	8	5	3	1
最大傾斜5(º)	9	17	27	44	64	72

対物レンズ性能　白色干渉計

倍率	5X	10X	20X	50X	100X	150X
開口径 NA	0.075	0.13	0.30	0.40	0.55	0.70
作動距離 WD (mm)	10.3	9.3	7.4	4.7	3.4	2.0
FOV 視野1 (μm)	6756 x 5652	3378 x 2826	1689 x 1413	845 x 707	338 x 283	169 x 141
空間サンプリング2(µm)	2.76	1.38	0.69	0.34	0.13	0.07
光学分解能3(µm)	1.87	1.08	0.47	0.35	0.26	0.20
システムノイズ4(nm)	PSI / ePSI 0.1 nm (PZTで0.01 nm) CSI 1 nm
最大傾斜5(º)	4	7	17	24	33	44

注釈
1. 3/2”カメラと0.5倍の光学系による最大視野
2. 表面のピクセルサイズ。
3. L&S: ライン&スペース、レイリー基準による回折限界の半分の値、空間サンプリングは干渉対物レンズの光学分解能を制限する可能性があります。青色LEDによる値。
4. システムノイズは、光学軸に対して垂直に配置されたキャリブレーションミラーにおいて、連続する2つ測定値の差として計測。干渉対物レンズ、PSIの場合、10個の位相の平均です。温度制御された部屋でピエゾステージスキャナの使用した場合0.01 nmまで達成可能。緑色LEDでの値 (CSIは白色LED) 解像度HD VC-Eの環境振動で測定。
5. 滑らかな表面上での値。散乱面上で最大傾斜 86º

S neox sensor Z軸方向性能

Z軸	粗さ（リニアステージ）	精度（静電センサ付きピエゾスキャナー）
垂直範囲	40 mm	200 µm
分解能	5 nm	1.25 nm

精度　再現性

測定基準	値	U, σ	測定技術
段差	48600 nm	U=300 nm, σ= 10 nm	共焦点法、CSI
	7616 nm	U=79 nm, σ= 5 nm	共焦点法、CSI
	941.6 nm	U=7 nm, σ= 1 nm	共焦点法、CSI
	186 nm	U=4 nm, σ= 0.4 nm	共焦点法、CSI
	44.3 nm	U=0.5 nm, σ= 0.1 nm	PSI
	10.8 nm	U=0.5 nm, σ= 0.05 nm	PSI
面粗度(Sa)7	0.79 µm	U=0.04 µm, σ=0.0005 µm	共焦点法、Ai移動焦点法、CSI
プロファイル粗さ (Ra)8	2.40 µm	U=0.03 µm, σ= 0.002 µm	共焦点法、Ai移動焦点法、CSI
	0.88 µm	U=0.015 µm, σ= 0.0005 µm	共焦点法、Ai移動焦点法、CSI
	0.23 µm	U=0.005 µm, σ= 0.0002 µm	共焦点法、Ai移動焦点法、CSI

注釈 7.面積 1×1 mm　 8.プロファイル 4mm長

共焦点とAi焦点移動で使用する対物レンズは 50X 0.80 NA、CSIおよびPSIでは 50X 0.55NA。解像度 1220×1024ピクセル。全測定はPZTを使用。不確定度(U)は以下に準拠します。ISO/IECガイド 98-3:2008 GUM:1995, K=1,96 (信用度 95%)。σは25回の測定に依ります。