トータル14通りの樹脂硬化/プレス方式の組み合わせを実現
7通り(樹脂硬化/プレス方式組み合わせ) × 2通り(加圧方式) = 14通り
| 樹脂硬化→ | 熱 | UV | 熱・UV | 加圧方式 | |
|---|---|---|---|---|---|
| プレス↓ | |||||
| 平行平板 | 〇 | 〇 | N/A | × | 低：10kN/エア・シリンダ 高：20kN/サーボ・モータ |
| FLAN※ (エア・アシスト) | 〇 | 〇 | 〇 | ||
| 両方 | 〇 | 〇 | N/A |
〇：使用可能
※SCIVAX社特許取得済
熱/UV硬化方式選択可能
熱可塑性樹脂とUV硬化樹脂の双方の使用も可能に
平行平板方式
シリコン等のハードマスター使用可能
高荷重機構装備
高アスペクト比ストラクチャの形成と荷重制御が可能
FLAN(エア・アシスト・プレス)
ソフト/フレキシブル樹脂スタンプによる曲面へのパターニングに好適
多様なオプション機能装備
プロセス自動化、昇降ピン式離型機構、HEPAフィルター、イオナイザー、高照度UV-LED、ピラニ・ゲージ(50Pa-)
※オプション機能も、後付け可能です。
成形例
| モス・アイ | ピラー |
|---|---|
 |  |
| ホール | ライン＆スペース |
 |  |
| マイクロ・レンズ・アレイ | レトロリフレクター |
 |  |
アプリケーション
| 応用 | |
|---|---|
| 3Dセンサ(ToF式) | VCSEL照明用DOE、 拡散板マイクロ・レンズ・アレイ |
| DNAシーケンサ | NGS(次世代シーケンシング)使い捨てチップ |
| 車載HUD(ヘッド・アップ・ディスプレイ) | グレア・トラップ、フラット・ミラー用 WGP(ワイヤー・グリッド偏光子) |
| イメージ・センサ | WGP、オンチップ・レンズCMOS |
| 反射防止面 | レンズ・カバー、ディスプレイ用モス・アイ |
| 医療診断 | SERS(表面増強ラマン分光)チップ |
| AR(拡張現実)グラス | 光導波路用グレーティング |
| 高速5Gネットワーク | DFBレーザー用グレーティング |
| Deep UVランプ | PSS(サファイア表面基板) |
| モデル | RubiQ™ RD-100 | |
|---|---|---|
| 寸法(mm) | W540 x D740 x H1700 | |
| 重量(kg) | 260(最小重量) | |
| 形状 | スタンドアロン | |
| 材質 | SUS304, #400 アルミフレーム | |
| ワークサイズ(mm) | □10～φ100、1μm厚(max) | |
| 以下トータルで14通りの組み合わせ可： 7通り(樹脂硬化/プレス方式組み合わせ) × 2通り(加圧方式) | ||
| ●プレス方式 | ||
| 加圧方式(kN) | 10 | 20 |
| 駆動機構 | エア・シリンダ | サーボ・モータ |
| ポジション制御 | 無し | 有り |
| 加圧方式フィードバック | 無し | 有り |
| 方式 | 平行平板、FLAN(エア・アシスト、0.99MPa)、双方搭載可(但し、同時使用不可) | |
| ●樹脂硬化方式 | ||
| 熱式 | 上部、下部、双方搭載可 | |
| UV式 | 上部のみ搭載可 | |
| 温度(℃) | 室温～250 | |
| UVランプ | UV-LED, 365nm（オプション：385nm、395nm、405nm） | |
| UV照度(mW/cm2) | 200(オプション：400) | |
