直接駆動超精密ステージからピエゾモータ直進ステージまで、200モデル以上を展開
- XY, XYZステージも構成可
- nm分解能の精密位置決め
- 真空対応可
- 特注, OEM可
- ロングトラベル/高速/小型＆軽量など、要件に合わせて多彩なラインナップから選択
Newport社とNew Focus社の電動直進ステージは、50年以上にわたって研究・大学機関、工業、半導体産業、航空宇宙産業、防衛産業などのさまざまな市場にソリューションを供給し続けてきた経験を背景として設計され、強化されてきました。ステージの選択肢は、直接駆動超精密ステージからピエゾモータ直進ステージに至るまで、200モデル以上に及びます。また高評価を得ている手動ステージに、広範囲の選択肢を持つ互換性のある電動アクチュエータを適合させることにより、数多くのリニア位置決めソリューションを作成することができます。
電動直進ステージは、移動量、最小移動量、再現性、精度、速度などに基づいて選択します。なお機種選定にあたっては、要件などご相談いただければ最適な製品をご提案いたします。お気軽にお問合せください。
IDLシリーズ レーザー加工用ロングトラベル・リニアステージ
小型タイプ
| シリーズ | 移動量 | 最小可動 距離(μm) | 軸上精度 (μm) | 最高速度 (mm/s) | 通常 耐荷重 |
|---|---|---|---|---|---|
| MFA | 25 mm | 0.1 | 6 (±3.0) | 0.3, 1.0, 2.5 | 50 N |
| VP-25X | 25 mm | XL:0.01 XA:0.1 | 2 (±1.0) | 25 | 60 N |
中可動距離タイプ（50～300 mm）
| シリーズ | 移動量 | 最小可動 距離(μm) | 軸上精度(μm) | 最高速度 (mm/s) | 通常耐荷重 |
|---|---|---|---|---|---|
| XM | XMS: 50, 100, 160 XML:210 | 0.01 | XMS:1.5 (±0.75) XML:3 (±1.5) | 300 | XMS:100 N XML:300 N |
| GTS | 70, 150 | 0.1 | 2 (±1.0) | 50 | 100 N |
| ILS-LM | 100, 200, 300 | 0.01 | 5 (±2.5) | 500 | 250 N |
| ILS | 50, 100, 150, 200, 250 | HA:0.3 CC, PP:1.0 | HA: 2 (±1.0), 3 (±1.5) CC, PP: 4 (±2.0), 5 (±2.5) | PP:50 CC, HA:100 | 250 N |
| FCL | 50, 100, 200 | 0.15 | 4 (±2.0), 5 (±2.5), 10 (±5.0) | 20 | 250 N |
| FMS | 100, 200, 300 | CC:0.5 PP:1.0 | 1 (±0.5), 2 (±1.0), 3 (±1.5), 6 (±3.0), 10 (±5.0), 13 (±6.5) | PP:20 PPHA:50 CC:100 | 150 N |
| MTN | 100, 200, 300 | PP, PPV6:0.1 CC:0.6 | 5 (±2.5) | PPV6:20 PP:40 CC:100 | 1000 N |
| UTS | 50, 100, 150 | 0.3 | CC: 4.5 (±2.25), 5.5 (±2.75), 6.5 (±3.25) PP: 6 (±3.0), 7 (±3.5), 8 (±4.0) | PPV6:10 PP:20 CC:40 | 100, 200 N |
| IDL | 200 | 0.25 | 3 (±1.5) | 2000 | 1000 N |
| ONE-XY | 60, 100, 200 | 0.1 | 0.6 (±0.3), 0.8 (±0.4), 6 (±3.0), 8 (±4.0) | 300, 400, 500 | 100, 120, 150 N |
長可動距離タイプ（300～1200 mm）
| シリーズ | 移動量 | 最小可動 距離(μm) | 軸上精度(μm) | 最高速度 (mm/s) | 通常 耐荷重 |
|---|---|---|---|---|---|
| IMS-LM | 300, 400, 500, 600, 800, 1000, 1200 | 0.02 | 9 (±4.5), 11 (±5.5), 15 (±7.5), 20 (±10), 25 (±12.5), 30 (±15) | 1000 | 100, 600 N |
| IDL | 300, 400, 500, 600, 700, 750, 1000 | 0.25 | 3 (±1.5), 4 (±2), 5 (±2.5) | 2000 | 1000, 1500, 2000 N |
| XM | 350 | 0.01 | 3 (±1.5) | 300 | 300 N |
| ONE-XY | 300 | 0.1 | 1.2 (±0.6), 12 (±6.0) | 300 | 350 N |
| IMS | 300, 400, 500, 600 | CCHA:0.2 CC, PP:1.25 | 8 (±4), 10 (±5), 11 (±5.5), 12.5 (±6.25), 15 (±7.5), 20 (±10) | PP:100 CC, CCHA:200 | 600 N |
