MikroMasch
シリコンナイトライドカンチレバー・チップのガラスホルダーチップの両側に2つ配置。用途としてソフトコンタクトモードで使われます。
ガラスホルダーチップの両側に2つのシリコンナイトライドカンチレバー・チップがあります。 それらはソフトコンタクトモードのアプリケーションに使用されます。