piezosystem jena
1991年に設立されたpiezosystem jena (ピエゾシシステムズ・イエナ) 社は、ピエゾ駆動 精密位置決め装置では、ミラーやLDなど光学部品の精密ポジショニング(nanopositioning)及びスキャニング用途に適した、安定性に優れたピエゾ駆動の高精度ステージ類(piezo stages)を製造しています。
半導体、航空宇宙、顕微鏡、シンクロトロンの分野で、ピエゾマイクロポジショニング、ピエゾナノポジショニング、メトロロジーソリューションを提供しています。ピエゾテクノロジーをナノポジショニングタスクに応用し、ピエゾフレックスチャーステージの設計やピエゾメカニカルシステムの開発において、幅広い知識と深い技術的専門知識を有しています。

piezosystem jena 製品一覧
- piezosystem jenaピエゾ駆動光学マウント
種々のコンポーネントやアプリケーションに柔軟に対応できる製品を多数ラインナップ
- piezosystem jenaピエゾコントローラ/アンプ
ピエゾ製品の分解能と精度を極限まで高める、高性能コントローラ及びアンプ。用途に応じて最適な製品を選択可能
- piezosystem jenaピエゾ駆動ステージ
LDなど光学部品の精密ポジショニング及びスキャニング用途に適した、安定性に優れたピエゾ駆動の高精度ステージ。X, Z, XY, XYZ, 5軸, 回転。可動距離 最高1500μm
- piezosystem jenaNanoX 高速ポジショナ
最大10kgもの大荷重でも、高精度な高速ダイナミック・ナノ/マイクロポジショニングを実現。複数のポジショナを組み合わせることも可能。
- piezosystem jenaスタック・アクチュエータ
多層セラミック技術をもとにしたスタック型ピエゾアクチュエータ。数kNもの高い耐負荷重と、1nm未満の高い分解能を同時に実現。